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ZEMAX軟件技術應用專題:利用Kogelnik方法模擬體積全像光柵的繞射效率
(a) 表面反射光柵 (b) 體積全像光柵 圖1(b)所示的VHG是通過在感光
材料
薄膜上曝光兩個或多個光束來製造。然後將薄膜進行化學或
熱
顯影:這就是光柵。光柵上的表面是光滑的,但光柵內部的折射率是正弦調變的。為了對VHG進行建模,需要使用高效的Kogelnik理論或嚴格
耦合
波分析(RCWA)等算法。
2123
w**elab86_Swsp
??? 3年前
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